供应半导体工艺的清洗设备-卧式石英管清洗机
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石英管清洗机 卧式石英管清洗机: ⑴本设备适用于2″~8″石英炉管的清洗，同时也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物。 ⑵酸水清洗同槽先后进行，为滚动浸泡式清洗，人工装、取工件。 ⑶根据客户要求可同时清洗两种规格的石英炉管。 ⑷其结构主要由清洗槽、溢流排放槽、本体、工件支撑及旋转驱动机构、排风系统、给排水系统、及电器部分待构成。 ⑸本体采用德国磁白PP板搭配德国焊接设备焊接而成。 ① 本体部分由金属骨架（SS）外包5mm厚磁白PP板，外贴10mm厚磁白PP板，所有部件均装在本体上构成清洗机。 ② 石英管清洗机前方装有防护隔离门：隔离门采用德国产透明PVC板制成，并对其加以配重，使前门可以轻松开合和某高度定位。在清洗过程中，隔离门关闭，以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害，而且在隔离门上开有风罩调节板，以平衡气压，隔离门上还装有传感器，当门打开时，N2鼓泡同时停止。 ③在清洗机的底部预留有一定空间，可以存储器皿，同时开有门窗，可以方便的对清洗机管路部分进行检查和维修。 ⑹旋转驱动系统 工件的旋转靠两根旋转轴的夹紧，由电机驱动旋转来实现，一根为主动，一根为从动轴。并且根据客户要求可加装能同时清洗两种规格的旋转机构。 ① 操作人员可以通过控制面板上的按钮来控制清洗机的工作和停止。 ⑺清洗槽由宽窄两槽构成，槽体材料均为德国磁白PP，清洗槽的底部为倾斜式，便于排水，槽底的低处设有排水口，排水口外接两套管路，用独立的电控阀门控制，一路用于排酸，一路用于排水。 ① 槽底部装有N2鼓泡系统。 ② 槽体的周边设有孔板，用于溢流。 ⑻供液管共四路：分别为H2O2；HCL；HF和去离子水。 排液管道共两路：一路用于排放废酸以及酸洗后的三次水冲洗所产生的含酸浓度较高的废水，一路用于排水。 ⑼电气控制系统：置于清洗机的右上方，内部装有总电源开关、定时器、指示灯、 双色控制开关、可编程控制器、继电器、接触器、报警器等。