全自动高温PSS设备自动高温刻蚀机
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所在地: | 北京北京市 |
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详细信息
全自动高温PSS设备(自动高温刻蚀机)
※陶瓷远红外缘加热模组(可加热至600度);
※环控流场式热酸气排放;
※热酸排再放动制程10分钟完成;
※自动化机械手臂全程监控,自动化程度高,操作便捷;
※高产能,高效率;
※该PSS设备为雷射正切之后,去除焦碳的必要制程设备;另可进行表面粗化及PSS工艺作业;
硅片清洗机,石英管清洗机,硅块清洗机,硅芯清洗机,高温PSS设备