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供应半导体工艺清洗设备-全自动石英管清洗机
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全自动石英管清洗机 1.概述:本设备为浸泡式清洗机,用于扩散炉等设备的石英管,碳化硅管清洗。 ⑴整台设备采用德国磁白色聚丙板(PP)搭配德国焊接设备焊接而成。 ⑵设备分为两个清洗槽,内槽为酸洗槽,外槽为水洗槽,内外槽均装在隔离槽内,与底部和周围隔离 ⑶隔离槽底部倾斜式,最低处设有排水管,隔离槽后设有排气装置。 ⑷清洗槽左右两端设有美国进口纯水喷枪和氮气喷枪
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